Lo strumento è composto (partendo dall'alto) da: un cavo dell'alta tensione, un cannone elettronico, una serie di lenti elettromagnetiche condensatrici e di valvole per la regolazione dell'apertura del diaframma, un sistema di illuminazione e uno per la produzione del vuoto, un porta campione, una lente obiettivo e una lente proiettiva, un microscopio ottico stereoscopico, uno schermo fluorescente, una serie di tubi per la produzione del vuoto e una consolle di lavoro su cui sono presenti un pannello di controllo e otto manopole. Dietro alla struttura principale se ne trovano altre due, una per il sistema di alimentazione e una per il motore